伺服閥作為伺服控制系統(tǒng)中的一種核心伺服控制元件，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于許多國民生活的各個(gè)領(lǐng)域。伺服閥的閥芯噴嘴是伺服閥中的關(guān)鍵零件，閥芯噴嘴的通道表面質(zhì)量往往直接影響到伺服閥的整個(gè)使用性能，目前傳統(tǒng)的加工工藝方法無法保證其質(zhì)量及合格率。而磨粒流拋光技術(shù)為改善伺服閥閥芯噴嘴的內(nèi)表面質(zhì)量提供了有效的技術(shù)方案，對伺服閥閥芯噴嘴的磨粒流拋光技術(shù)的研究分析具有重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。

一般閥芯噴嘴零件的尺寸比較小，在使用的過程中要求很高的尺寸精度和高形位精度，流道表面還需要表面粗糙度值小等，一般傳統(tǒng)的加工工藝方法很難實(shí)現(xiàn)閥芯噴嘴的使用要求。而且閥芯噴嘴處小孔的表面質(zhì)量會(huì)直接影響伺服閥的使用性能，當(dāng)噴嘴體小孔的內(nèi)壁存在毛刺現(xiàn)象、不夠光滑或是殘留污染物時(shí)，就容易造成閥芯噴嘴射流散射和螺旋，或是導(dǎo)致噴嘴體容易堵塞，對整個(gè)伺服閥控制系統(tǒng)造成嚴(yán)重的損害。

所以提高閥芯噴嘴體小孔的表面質(zhì)量，進(jìn)行噴嘴體小孔精密光整加工具有非常重要的意義。

目前來說，微小孔所采用的加工方法一般有傳統(tǒng)加工、激光打孔、電火花加工、電化學(xué)加工等加工工藝方法，經(jīng)過加工之后，零件的加工質(zhì)量一般難以達(dá)到零部件的高精度使用要求，還需要對零部件進(jìn)行進(jìn)---步的精密拋光加工。在機(jī)械相關(guān)的加工領(lǐng)域中，精密拋光加工存在著很多方法，使用較為廣泛的是超聲波拋光技術(shù)、磨粒流拋光技術(shù)、電化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工技術(shù)、化學(xué)拋光加工技術(shù)等。其中，磨粒流拋光技術(shù)有很好的研磨拋光能力，尤其是對復(fù)雜零件內(nèi)表面、微小通道內(nèi)的精密拋光加工，以及零件內(nèi)部隱蔽部位的孔及型腔、模具的復(fù)雜曲面等精密光整加工，因此改善伺服閥閥芯噴嘴的流道表面質(zhì)量可以采用磨粒流拋光技術(shù)。

磨粒流拋光工藝是一種經(jīng)濟(jì)有效的新型精密光整加工工藝，磨粒流拋光技術(shù)具備了許多加工優(yōu)點(diǎn)，例如拋光效率高、自動(dòng)化生產(chǎn)、好的可控制性能、拋光表面質(zhì)量高等。與傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法比較，磨粒流拋光技術(shù)可以利用磨料介質(zhì)的流動(dòng)性對復(fù)雜結(jié)構(gòu)的孔及型腔深孔進(jìn)行拋光加工，還可以根據(jù)零件的應(yīng)用要求，選取不同的磨料介質(zhì)對零件進(jìn)行拋光，從而獲取不同的拋光效果來滿足零件的要求。

磨粒流拋光工藝主要包括了磨粒流拋光機(jī)床、配置的研磨磨料和用于固定被加工零件的夾具，是通過研磨磨料來去除零件被加工表面的材料，以此進(jìn)行零部件的精密拋光，磨粒流拋光機(jī)床如圖1所示。

圖1磨粒流加工機(jī)床示意圖

在磨粒流研磨拋光過程中,工件夾具和工件之間的配合下形成了磨粒流拋光通道,通過外界壓力的作用下，將含有磨粒的黏彈性液態(tài)磨料壓入加工通道中，磨料反復(fù)地對通道表面或邊角(即零件的被加工表面)進(jìn)行研磨，實(shí)現(xiàn)了拋光、倒角作用，以此來實(shí)現(xiàn)對加工表面的拋光、光整加工，磨粒流拋光原理圖如圖2所示。

磨粒流拋光機(jī)理是把磨粒流加工介質(zhì)內(nèi)磨?？醋鳠o數(shù)的切削刀具，利用磨粒的不規(guī)則堅(jiān)硬棱角反復(fù)磨削加工介質(zhì)所流經(jīng)的零件被加工表面，從而實(shí)現(xiàn)零件表面的精加工。由磨粒流微磨削拋光機(jī)理的研究可知，磨粒流微磨削加工通道內(nèi)表面時(shí)主要是徑向力和剪切應(yīng)力的支配，磨粒介質(zhì)受到載荷應(yīng)力的支配，將不規(guī)則的硬質(zhì)磨料顆粒壓入待加工表面中，當(dāng)產(chǎn)生相對滑動(dòng)時(shí)，磨粒在加工通道內(nèi)產(chǎn)生微磨削，使零件的表面材料脫落